|
Центр «НЕТСИ» предлагает: Создание нового и модернизация
существующего оборудования на базе высокотехнологичных устройств для нанесения
защитных покрытий - высокоскоростных ионно-плазменных магнетронных распылительных
систем планарного и коаксиального (трубчатого) видов требуемых модулей для их
встраивания в различные типы рабочих вакуумных объемов конструируемых установок;
оснащение этого оборудования “hi-tech” устройствами и мишенями с современными системами ассистирования
технологического процесса; весь комплекс сервисных услуг, связанных с монтажом,
запуском в эксплуатацию, а также последующим техническим обслуживанием и надзором. Центр «НЕТСИ» предлагает: различные типы высокоскоростных ионно-плазменных магнетронных распылительных
систем планарного и коаксиального (трубчатого
) типа. Отличительной особенностью этих систем является: ·
Прямое интенсивное охлаждение распыляемой мишени, позволяет достигать
высоких плотностей мощностей разряда до 103 Вт/ см2; ·
Сильное сбалансированное магнитное поле, что позволяет достичь высокой
концентрации плазмы; ·
Простота конструкции и удобство в сборке и эксплуатации, что обеспечивает
оптимальное расположение, как внутри камеры, так и монтаж на съемных крышках и
фланцах; ·
Возможность распыления мозаичных мишеней из различных материалов с
одинаковой скоростью. Предлагаемые системы распыления
делятся на : ·
магнетроны с дисковыми катодами
серии-ДК диаметром от 50 мм до 250 мм и более, имеется ДК-1 mini. Это магнетрон с площадью распыления не более 2 см2. Магнетрон
очень удобен для использования при распылении драгоценных материалов и проведения
исследовательских работ; высоко экономичен и эффективен; ·
магнетроны с протяженными катодами серии – ПК в виде пластин с шириной
60-70 мм и длиной до 1500 мм и более; ·
магнетроны с втулочными подвижными
катодами серии - ВК, с внешним диаметром от 50 мм и выше и толщиной до 500 мм, могут широко использоваться
в установках при длительном нанесении покрытия.
Расходуемая часть мишени - втулка подвижна и
может подаваться в процессе распыления. При этом возможен процесс распыления,
как из твердой фазы, так и из жидкой ( ионно-термический процесс); ·
магнетроны с трубчатыми катодами серии - ТК и подвижной магнитной
системой; диаметр катода может быть от 10 мм и выше, и длинной ( реально достигнутой) 7500 мм, имеют подвижную магнитную систему,
которая может быть одно- или многосекционной. При односекционной магнитной системе
можно достигать высокой плотности мощности до 103 Вт/см2 при распылении
из твердой фазы и до 104 Вт/см2 - из жидкой фазы. Жидкофазный процесс
распыления проводится с высокой линейной
скоростью перемещения магнитной системы
>100 мм/с при интенсивном охлаждении
катода водой с температурой 10-12оС.
Специально подобранная магнитная система позволяет вести осаждение покрытия на дистанции от 7 до 10 мм. Основные характеристики некоторых
типов магнетронов серий: ДК, ПК, ТК, ВК. Цифра после серии указывает на основной размер катода, например,
ДК-50 – дисковый катод диаметром 50 мм или ПК-300 – плоский катод длинной 300
мм, или ТК-25 – трубчатый катод диаметром
25 мм. Наши координаты: mitin2@mail.ru |