ПЛАНАРНЫЙ МАГНЕТРОН  ДК-50  (МОДЕРНИЗИРОВАННЫЙ)

ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

Предназначен для нанесения покрытий из металлов, сплавов и химических соединений на внешнюю поверхность изделий, режущего и металлообрабатывающего инструмента.

Рекомендуется для применения в станкоинструментальной, ма­шиностроительной, химической, авиационной, электронной, медицин­ской и других отраслях промышленности, где требуются износостой­кие и коррозионностойкие типы покрытий в целях повышения ресурса работы инструмента, оснастки и прочих деталей машин.

ТЕХНИЧЕСКАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА

Мощность, кВт.......................................... 10

Напряжение разряда, В ................................. 500

Ток разряда, А ........................................ 20

Плотность мощности, Вт/см² .............................5-10

Плотность тока в зоне распыления, кА/м² ...............3,5-4,0

Рабочее давление в камере, Па ........................6,65-Ю

Размеры распыляемой мишени (втулки), мм:

диаметр.............................................. 50

толщина..............................................2-50

Скорость осаждения покрытия на дистанции 60 мм на плоскую поверхность, мкм/мин:

  титана...............................................1-1,5

  ниобия...............................................1-2

  алюминия............................................ 1-2

меди................................................3-4

Размеры магнетрона, мм:

диаметр ............................................. 180

высота............................................... 225

Масса, кг............................................... 5

Особенность магнетрона заключается в выносной конструкции магнитных полюсов, позволяющей использовать мишени толщиной до 50 мм и более; распылять магнитные материалы, повысить коэффициент ис­пользования материала мишени до 95%.

Back Home