МАЛОГАБАРИТНЫЙ ПЛАНАРНЫИ МАГНЕТРОН ДК-mini ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

Предназначен для нанесения покрытий из металлов, сплавов и химических соединений на внешнюю поверхность изделий.

Рекомендуется для применения в химической, медицинской,                                                   приборо-, машиностроительной и других отраслях промышленности, где требуются коррозионностойкие износостойкие и другие типы защитных и декоративных покрытий в целях повышения ресурса работы деталей машин, механизмов, полупроводниковых приборов и т.п., и для научных исследований.

ТЕХНИЧЕСКАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА

Мощность, кВ ........................................... 3

Напряжение разряда, В ................................500-1100

Ток разряда, А ......................................До 4,0

Плотность  тока в зоне распыления, А/м² ............(0,3-1,2)х 10⁴

Рабочее давление, Па.................................(6-8)х 10^-1

Удельная мощность, кВ А/см² ........................ (0,06-1,5)х10³

Размеры мишени, мм:                                                        

диаметр ........................................... 30

толщина............................................. До 6

Скорость осаждения покрытия на дистанции 60 мм на плоскую поверхность, нм/сек:

палладия............................................ 30

меди................................................ 33

Размеры магнетрона, мм:

диаметр............................................. 100

высота.............................................. 130

Масса, кг..............................................0,85

Основная особенность данной конструкции магнетрона - небольшой размер мишени, что позволяет создать локальный поток атомов  напыляемого материала, сосредоточить в зоне распыления высокую плотность тока и удельную мощность и повысить коэффи­циент использования мишени.

Back

Home