|
УНИВЕРСАЛЬНЫЙ МОДУЛЬ "КОЛЬЧУГА-2" С ПЛАНАРНЫМИ
МАГНЕТРОНАМИ ТИПА ДК, ПК, ВК ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИИ Предлагается
многоцелевая простая и надежная конструкций модуля, легко встраиваемая в
рабочую камеру напылительной установки. Модуль
предназначен для нанесения покрытий из металлов, сплавов, включая
ферромагнитные, и химических соединений и снабжен несколькими типами
магнетронов, снаряженными мишенями в виде дисков и прямоугольных пластин. Отличительной особенностью данного типа магнетронов
является обеспечение интенсивного охлаждения мишени, что позволяет распылять
металлы и сплавы при плотности мощности разряда плазмы до (0,6-1)103
Вт/см2 , химические соединения (карбиды/ нитриды, бориды, силициды
и др.) - до (0,3-0,5)103 Вт/см2 . Высокоскоростной
режим распыления, прежде всего, повышает существенно производительность
процесса нанесения покрытий и обеспечивает высокое качество наносимых
покрытий (высокую химическую чистоту, плотность). Наиболее эффективно
применение в станкоинструментальной, машиностроительной, химической,
авиационной, электронной, медицинской и других отраслях промышленности, где
требуются износостойкие и коррозионностойкие типы покрытий в целях повышения
ресурса работы инструмента, оснастки, полупроводниковых и других электронных
приборов и прочих деталей и узлов машин. ТЕХНИЧЕСКАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА Плотность мощности в зоне разряда, макс., Вт/см2 ................................... до 103 Вт/см2 Материал мишеней ......................металлы и сплавы, ферромагнитные материалы, полупроводники, углерод, химические соединения Вид мишеней..............................диски, пластины Размеры мишеней в зависимости от конструкции катодных узлов, мм: для ферромагнитных - диски....... диаметр: 30,50,60,75,98,102 материалов толщиной толщина: от 2 до 50 и выше до 35 мм - пластины... ширина: от 60 до 70 длина до 1500 мм и выше Модули выпускаются серийно и могут поставляться
заказчиком со всеми типами магнетронов. |