УНИВЕРСАЛЬНЫЙ МОДУЛЬ "КОЛЬЧУГА-1" С КОАКСИАЛЬНЫМ

МАГНЕТРОНОМ СЕРИИ «ТК» ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ                                                                           НА ВНУТРЕННИЕ ПОЛОСТИ ГИЛЬЗ, ТРУБ, ВТУЛОК 

Предлагается  простая надежная и универсальная конструкция модуля, легко встраиваемая в рабочую камеру напылительной установки. Модуль предназначен для нанесения покрытий из металлов, сплавов и химических соединений и снабжен сменным катодом-мишенью в виде полой водоохлаждаемой трубы из напыляемого материала, либо из меди, на которую крепится напыляемый материал. Для равномерного распыления поверхности катода магнитная система с одним или несколькими магнитными сердечниками может пе­ремещаться с помощью привода. Скорость перемещения регулируется. При нанесении покрытия на внутреннюю полость изделия катод магнетрона вводится в эту полость. Во время напыления деталь и катод неподвижны, перемещается только лишь магнитная система внутри катода. При этом изделие, если оно выполнено из токопроводящего материала, является като­дом. В случае, если изделие из диэлектрика, катод магнетрона снабжается анодом.

                              ТЕХНИЧЕСКАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА

Плотность мощности в зоне разряда, максимальная: Вт/см².......1,5х10³

  Материал мишени...................металлы и сплавы, химические

                                                                                            соединения, графит

Вид мишени . . . . . . . . . . . . . . .трубы, втулки, фольга,

                                          проволока, покрытие

Выпускаемый типоряд катодов (длина, мм)                                               и диаметр катода, мм.................................... К(350) Ø 10-50

                                                         К(500) Ø 10-50

                                                         К(1000) Ø 20-35

                                                         К(1500) Ø 25-35

                                                         К(3000) Ø 25-35

                                                    К(6000) Ø 45

В зависимости от типоразряда видоизменяется конструкция модуля. Использование модулей данного типа, позволяет наносить покрытия на минимальной дистанции 7-10 мм между поверхностью катода и деталью и тем самым существенно повысить скорость осаждения и качество покрытия.

Модули изготавливаются серийно.

                                Back  Home