|
Центр «НЕТСИ» предлагает: Конструкция
установки с линейным транспортером периодического
действия, базовый вариант
которой имеет размер рабочей камеры 8000х1800х500 мм - предназначена для нанесения
в вакууме тонкопленочных покрытий от 0,01 до 100 мкм и выше (из металлов; сплавов;
химических соединений металлов с азотом, кислородом, углеродом, бором, кремнием,
серой и их возможных смесей) на плоские (пластины, листы) и объемные (профили,
тела вращения) изделия из металла, стекла, керамики и пластика. Установка комплектуется
плоскими магнетронами серии ПК-1500 до 6 шт. по 3 с каждой стороны, длина мишени
до 1700 мм с плотностью мощности в разряде >102Вт/см2,
ионными источниками до 4 шт. по 2 с каждой стороны для ионного травления и активации
нагревателем туннельного типа до 350оС, системами тлеющего разряда
и подачей опорного напряжения до 1,1 КВ. Суммарная энергетическая
мощность установки до 180 КВт. __________________________________________________ |
|
|